國內外生產(chǎn)六氟化硫普遍采用單質(zhì)硫與單質(zhì)氟直接合成的工藝流程。在合成的SF6粗品中,一般含有總量約5%的S2F2、S2F10、SOF2、SO2F2、SO2、HF、CF4、O2、N2等10幾種雜質(zhì),凈化后的純度可達99. 9%以上,但是,高純六氟化硫新氣仍可能因提純工藝和充裝等因素造成質(zhì)量問(wèn)題,因此必須對SF6新氣進(jìn)行驗收,然后查驗所購買(mǎi)的產(chǎn)品和質(zhì)量是否與出廠(chǎng)報告和購買(mǎi)合同相符。
每批出廠(chǎng)的高純六氟化硫都應附有一定格式的質(zhì)量證明書(shū),其主要內容應包括生產(chǎn)廠(chǎng)名稱(chēng)、產(chǎn)品名稱(chēng)、生產(chǎn)批號、氣瓶編號、氣體凈重、生產(chǎn)日期和適用標準編號,用戶(hù)應首先向廠(chǎng)方索取并查驗產(chǎn)品的出廠(chǎng)報告。
高純六氟化硫的氣瓶應噴涂油漆,標明生產(chǎn)廠(chǎng)名稱(chēng)、產(chǎn)品名稱(chēng)、批號、氣瓶號及產(chǎn)品商標。氣瓶的漆色、字樣應符合GB 7144-1999氣瓶顏色標志。標簽應符合GB 16804-1997規定的要求。
用戶(hù)應按標準規定對收到的工業(yè)SF6進(jìn)行驗收,驗收應在貨到之日起的一個(gè)月內進(jìn)行。用戶(hù)應按標準規定對新到高純六氟化硫氣瓶進(jìn)行抽樣,送有監督檢測能力的單位進(jìn)行質(zhì)量抽樣檢驗。
如果,檢驗黎明六氟化硫的結果中如有一項指標不符合GB/T 12022要求時(shí),應重新自?xún)杀读康陌b中采樣進(jìn)行復驗。復驗結果即使僅有一項指標不符合標準要求時(shí),則整批產(chǎn)品為不合格。
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