純凈的六氟化硫氣體是無(wú)毒的，但是當六氟化硫不純或者是分解的時(shí)候就會(huì )產(chǎn)生毒性。從有關(guān)部門(mén)的試驗及研究結果可知，六氟化硫氣體的毒性主要來(lái)自5個(gè)方面。

1、電器設備內的六氟化硫氣體在高溫電弧發(fā)生作用時(shí)而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。

2、六氟化硫產(chǎn)品不純，出廠(chǎng)時(shí)含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。

3、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與電極(Cu-W合金)及金屬材料(AL、Cu)反應而生成某些有毒產(chǎn)物。

4、電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發(fā)生化學(xué)反應而生成某些有毒產(chǎn)物。

5、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)樹(shù)脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成 SiF4、Si(CH3)2F2 等產(chǎn)物。